品牌：Bruker    型号：ContourX500   

仪器负责人：王丽娜   电话：13302166963

技术指标：

· 扫描速度：≥37um/s；

· 自动缝合功能实现更大面积的扫描，可实现方形、圆形、圆环形、螺旋式等多种拼接缝合方式；

· 自动倾斜调整，调节范围≥±5°。

· 自动倾斜调整，调节范围≥±5° 

应用：

观测表面整体形貌，并对微米尺寸的结构进行测量，以评价芯片加工效果。