品牌：Bruker    型号：Innova           

仪器负责人： 翟欢欢、王文洋    电话：  18702207279、13821963828

配置及技术参数：

· 工作模式：接触模式、轻模式、横向力模式、相位成像模式四种；

· 仪器纵向噪音水平≤0.05nm RNS值 

· 提供同轴光学系统，10倍物镜，视场范围包含0.25 mm x 0.25 mm至1.25mm x 1.25mm，软件可控制自动缩放，光学分辨率优于2μm。 

· 提供数据处理软件，至少包含图像拉平、剪切、滤波、傅里叶变换等图像处理功能和横截面分析、高度测量、粗糙度测量、能谱密度分析等数据分析功能，简单快速的对数据、图像进行处理分析。 

应用：

本设备具有很高的分辨率，实用性强，具有独特的闭环扫描线性化系统，确保测量准确性，而且维持噪音水平接近开环的低噪音水平，广泛应用于材料科学、高分子材料、纳米刻蚀、太阳能电池、生命科学和半导体器件等领域。